特許

J-GLOBAL ID：200903022116429216

感光性組成物

発明者： 青合 利明 ,  水谷 一良
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-012540
公開番号（公開出願番号）：特開平6-027670
出願日： 1991年01月11日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：

【要約】【構成】 下式のポリシロキサン化合物とα-ジアゾケトン化合物、又は2-ジアゾ-1、3-ジケトン化合物とを含有するポジ型感光性組成物。【効果】 水性アルカリ現像が可能で、Deep-UV領域の光源に対する適性及び酸素プラズマ耐性に優れている。【化1】

請求項（抜粋）：

(a)一般式(I)、(II)、(III)または(IV)で表される化合物と、一般式(V)、(VI)、(VII) または(VIII)で表される化合物との環化熱付加反応生成物から由来されるシロキサン単位を少なくとも1モル%含有するポリシロキサン化合物と、(b)α-ジアゾケトン化合物、又は2-ジアゾ-1、3-ジケトン化合物とを含有する感光性組成物。【化1】【化2】【化3】

IPC (7件)：

G03F 7/075 511 ,  C08L 83/04 LRT ,  G03F 3/10 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/038 505 ,  G03F 7/16 ,  H01L 21/027