特許

J-GLOBAL ID：200903022116436298

磁気ディスクのテクスチャ加工方法

発明者： 大長 啓之
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
代理人 (1件)： 大場 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-080743
公開番号（公開出願番号）：特開平5-282664
出願日： 1992年04月02日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：

【要約】【目的】 テクスチャ加工後の磁気ディスク面内の表面粗度Raのばらつきを減少させる。【構成】 遊離砥粒を供給する加工の後、パッドを磁気ディスク表面から離し、磁気ディスク表面とパッド表面を純水で洗浄し、純水を供給しながら再度、パツドを磁気ディスクに接触させて2段階目のテクスチャ加工をする。

請求項（抜粋）：

回転するテ-ブル上に固定した磁気ディスク表面に遊離砥粒を供給し、磁気ディスクに対向して回転するクイルの先端に取り付けたパッドを磁気ディスク表面に押圧し、微細溝を磁気ディスク表面に形成させるテクスチャ加工において、遊離砥粒を供給する加工の後、一旦、パッドを磁気ディスク表面から離し、磁気ディスク表面とパッド表面を純水で洗浄し、純水を供給しながら再度、回転するパッドを下降し、回転する磁気ディスクに接触させ、2段階目の加工をすることを特徴とする磁気ディスクのテクスチャ加工方法。