サセプタ温度制御方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：亀谷美明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-356442
公開番号（公開出願番号）：特開平6-196443
出願日： 1992年12月22日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：

【要約】【目的】冷媒の消費量を最小限に抑え、かつ温度制御性能に優れたサセプタの温度制御方法を提供する。【構成】サブサセプタ間に形成される境界空間に冷却ガスを適宜導入又は排気することにより、初期化モード時には良好な伝熱経路をサセプタ内に形成してサセプタの冷却を容易にし、アイドルモード時はその伝熱経路を遮断して熱損失を最小限に抑えることを可能にした。また、メンテナンスモード時にもその伝熱経路を遮断することにより、サセプタの温度を徐々に昇温させ、結露が生じるのを回避可能にした。

請求項（抜粋）：

処理室内に被処理体を載置固定するためのサセプタアセンブリが複数のサブサセプタから構成され、上記被処理体の処理表面温度を調節するために熱源からの熱量を伝達するための伝熱経路が上記複数のサブサセプタを通過するように形成され、上記複数のサブサセプタ間の境界空間に伝熱媒体を封入可能であり、上記サセプタアセンブリの温度を調節することにより上記被処理体の処理表面温度を制御することが可能な処理装置において、上記処理室内において上記被処理体の処理を行うプロセスモードに入る前に初期化モード及びアイドルモードを順次実行し、その初期化モード時には、上記サブサセプタ間の上記境界空間に上記伝熱媒体を導入し、1又は2以上の上記サブサセプタの温度を監視しながら上記サセプタアセンブリの温度を調節し、監視している上記サブサセプタの温度が設定値に到達すると、上記アイドルモードに入り、そのアイドルモード時には、上記サブサセプタ間の上記境界空間にある上記伝熱媒体を真空引きした状態で上記プロセスモードを待機し、そのプロセスモードに入ると、上記サブサセプタ間の上記境界空間に再び上記伝熱媒体が導入され、1又は2以上の上記サブサセプタの温度を監視して上記サセプタアセンブリの温度を調節しながら、上記被処理体の処理が行われることを特徴とする、サセプタ温度制御方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-206613
特開平4-275420
特開平3-134187

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