特許

J-GLOBAL ID：200903022117819735

固体撮像装置

発明者： 塩原 隆一
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-042658
公開番号（公開出願番号）：特開2004-253630
出願日： 2003年02月20日
公開日（公表日）： 2004年09月09日
要約：

【課題】異常屈折による隣接画素への光の漏れ込みを防止し、集光率の向上を図ること。【解決手段】複数の画素に対応して複数の光電変換素子を形成した基板1上に、層間絶縁膜4と、前記複数の光電変換素子それぞれに光を入射する複数の開口部5を有した遮光膜6と、前記遮光膜6を覆い且つ前記開口部5を充填するシリコン酸化膜であってその表面がほぼ平坦化された酸化膜7と、シリコン窒化膜8と、カラーフィルタ10と、平坦化膜11と、マイクロレンズ12と、をこの順序で積層したものである。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

複数の画素に対応して複数の光電変換素子を形成した基板上に、層間絶縁膜と、前記複数の光電変換素子それぞれに光を入射する複数の開口部を有した遮光膜と、前記遮光膜を覆い且つ前記開口部を充填するシリコン酸化膜であってその表面がほぼ平坦化された酸化膜と、シリコン窒化膜と、カラーフィルタと、平坦化膜と、マイクロレンズと、をこの順序で積層したことを特徴とする固体撮像装置。

IPC (4件)：

H01L27/14 ,  H01L27/146 ,  H01L31/10 ,  H04N5/335

FI (4件)：

H01L27/14 D ,  H04N5/335 V ,  H01L31/10 A ,  H01L27/14 A

Fターム (25件)：

4M118AA01 ,  4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA14 ,  4M118CA03 ,  4M118CA19 ,  4M118FA06 ,  4M118GB03 ,  4M118GB07 ,  4M118GB15 ,  4M118GC08 ,  4M118GC20 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  4M118HA23 ,  5C024CX01 ,  5C024CX41 ,  5C024GX01 ,  5C024GY01 ,  5F049MA01 ,  5F049NA04 ,  5F049NB05 ,  5F049SZ10 ,  5F049TA12 ,  5F049TA13