特許
J-GLOBAL ID：200903022119255316
超純水オゾン殺菌方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-189251
公開番号（公開出願番号）：特開平7-016581
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年01月20日
要約：
【要約】【目的】 従来の循環型超純水オゾン殺菌システムでは循環ライン中にバクテリアが発生して被処理体の処理に問題を生じさせていた。運転を停止し殺菌剤等を添加してバクテリアの殺菌を行う方法は後処理の手間等の問題が残り満足できる方法ではなかった。本発明は、運転を停止することなくバクテリアの発生を実質的に抑制しながら超純水による被処理体の処理を可能にする方法及び装置を提供する。【構成】 一次純水を超純水製造装置16で超純水とし、これを供給ライン19、ユースポイント21を通して循環させるシステムの要所にオゾナイザー23からのオゾン含有ガスを注入する。該注入により注入部より下流側に位置する超純水中にオゾンが存在しバクテリア等の発生及び繁殖を防止して、運転を停止することなく超純水中のバクテリア濃度を実質的に零にする。
請求項（抜粋）：
一次純水タンク中の一次純水を少なくともポリシャーを含む超純水製造装置に供給して超純水とし、該超純水を供給ラインを経由してユースポイントに送水し該ユースポイントで前記超純水を使用して被処理体を処理し、使用済純水をリターンラインを経由して前記一次純水タンクに循環する超純水オゾン殺菌方法において、前記ユースポイントと前記一次純水タンク間で前記使用済純水中にオゾン含有ガスを注入し、かつ前記一次純水タンクと前記超純水製造装置間に水素含有ガスを供給して残留オゾン除去及び脱酸素を行うことを特徴とする超純水オゾン殺菌方法。
IPC (6件)：
C02F 1/78
, C02F 1/50 510
, C02F 1/50 520
, C02F 1/50 531
, C02F 1/50 540
, C02F 1/50 550
