特許
J-GLOBAL ID：200903022128802397
透過型電子顕微鏡用試料の作成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
開口 宗昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-296308
公開番号（公開出願番号）：特開2000-121520
出願日： 1998年10月19日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：
【要約】【課題】 従来の方法と比較して十分な大きさの観察範囲を得ることができる透過型電子顕微鏡用試料の作成方法を提供する。【解決手段】 支持基板8上の一部分に、試料10を研磨する際に用いる研磨液に対して不活性な不活性層2を設け、支持基板8上の不活性層2が存在しない部分に穴3〜7を設け、試料10の非研磨面に第1の接着剤12を用いて補強ジグ11を接着し、補強ジグ11が前記穴3の内部に存在するように支持基板8と試料10とを直接重ね合わせた状態で穴3に第2の接着剤を注入し固化させ、化学的機械的研磨により前記試料10を薄層化し、試料10に対して補強ジグ11と対称である試料10の研磨面上の領域にマスクを施し、試料10のうちマスクを施した領域以外の部分を溶解させたのち第2の接着剤及びマスクを溶解する。以上により上記目的を達成することができる。
請求項（抜粋）：
基板上に薄膜が形成されてなる試料を裏面から研磨して、前記試料を薄膜化し、前記薄膜評価用の透過型電子顕微鏡用試料を作成する方法において、支持基板上の少なくとも一部分に、試料を研磨する際に用いる研磨液に対して不活性な不活性層を設け、支持基板上の不活性層が存在しない部分に少なくとも一つ以上の穴を設け、試料の非研磨面に第1の接着剤を用いて補強ジグを接着し、補強ジグが前記穴の内部に存在するように支持基板と試料とを直接重ね合わせた状態で前記穴に第2の接着剤を注入し固化させ、化学的機械的研磨により前記試料を薄層化し、試料に対して補強ジグと対称である試料の研磨面上の領域にマスクを施し、試料のうちマスクを施した領域以外の部分を溶解させたのち、第2の接着剤及びマスクを溶解することを特徴とする透過型電子顕微鏡用試料の作成方法。
IPC (2件)：
FI (4件)：
G01N 1/32 A
, G01N 1/32 B
, G01N 1/28 F
, G01N 1/28 G
