特許

J-GLOBAL ID：200903022128813526

Cr及びFe合金多層膜

発明者： 竹林 重人 ,  井上 宜治
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 田村 弘明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-111985
公開番号（公開出願番号）：特開平6-013235
出願日： 1992年04月30日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、高い飽和磁化と高い透磁率を有するCr及びFe合金多層膜を提供することを目的とする。【構成】 非結晶性基板の上に(100)面が基板に平行に配向した多結晶Cr薄膜のうえに窒素含有量x(原子パーセント)が1<x<20、または、窒素含有量x(原子パーセント)及び酸素含有量y(原子パーセント)が各々1<x<20、0.01<y<20であるFe合金薄膜を窒素含有Fe合金薄膜を作製することで高い飽和磁化と高い透磁率を有する薄膜を得ることができる。Cr(100)配向膜を得るためにガラス薄膜、MgO薄膜を下地としてもよい。

請求項（抜粋）：

基板上に、第一層としてその(100)結晶面が基板に平行に配向したCr薄膜を、前記第一層の上に第二層として窒素含有量x(原子パーセント)が1<x<20(at.%)、または、窒素含有量x(原子パーセント)及び酸素含有量y(原子パーセント)がそれぞれ1<x<20、0.01<y<20であるFe合金薄膜を積層してなることを特徴とするCr及びFe合金多層膜。

IPC (4件)：

H01F 10/14 ,  C23C 14/06 ,  H01F 1/14 ,  H01F 10/30