特許
J-GLOBAL ID：200903022132255830
半導体チップのピックアップ検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 稔 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-077673
公開番号（公開出願番号）：特開平7-285087
出願日： 1994年04月15日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：
【要約】【目的】 吸着コレットの詰まりの判定と半導体チップの吸着保持状態の判定との両判定を正確かつ簡便に行い、リードフレーム等に対してチップボンディングを行う際のチップの位置ズレや欠損あるいは割れを大幅に減少させて、半導体装置の製造時における歩留りを向上させる。【構成】 吸着コレット3の吸着部2を透過する光量を検出する光量検出手段10からの信号に基づいて、吸着詰まり状態判定手段15およびピックアップ状態判定手段14が、吸着部2の詰まりの良否と、吸着部2への半導体チップ13の吸着保持状態の良否とを、それぞれ判定する。そして、上記吸着詰まり状態判定手段14が判定する際の第1のしきい値と、上記ピックアップ状態判定手段14が判定する際の第2のしきい値とを、相互に独立した値として設定する。
請求項（抜粋）：
前工程位置でピックアップした半導体チップを吸着保持して次工程位置まで搬送する吸着コレットと、上記半導体チップの非吸着時に上記吸着コレットの吸着部に詰まりが生じているか否かを判定する吸着詰まり状態判定手段と、上記半導体チップに対するピックアップ動作の完了後に上記吸着コレットにその半導体チップが正確に吸着保持されているか否かを判定するピックアップ状態判定手段と、を備えた半導体チップのピックアップ検査装置であって、上記吸着詰まり状態判定手段および上記ピックアップ状態判定手段は、上記吸着コレットの吸着部を透過する光量を検出する光量検出手段からの信号に基づいてそれぞれの判定を行うように構成されているとともに、上記吸着詰まり状態判定手段が上記吸着コレットに詰まりが生じているか否かを判定する際の第1のしきい値と、上記ピックアップ状態判定手段が上記ピックアップされた半導体チップが正確に吸着保持されているか否かを判定する際の第2のしきい値とを、相互に独立した値として設定したことを特徴とする、半導体チップのピックアップ検査装置。
IPC (2件)：
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