特許
J-GLOBAL ID：200903022145521504
感熱式マイクロブリッジ型流量計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-108041
公開番号（公開出願番号）：特開平6-317440
出願日： 1993年05月10日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：
【要約】【目的】 高い精度で流速検出が行え、発熱、測温に要する投入電力の低減を計ることが可能な感熱式マイクロブリッジ型流量計を提供する。【構成】 基板1上に発熱体4と直列に接続された室温較正用抵抗体7を設け、基板1の外部に電流量の計測を行う発熱体4及び室温校正用抵抗体7に直列接続された電流計測用抵抗体を設け、発熱体測温抵抗体5と流体測温抵抗体6とバランス調整用抵抗体とが接続された電気ブリッジ回路を設け、発熱体4の電圧降下値と発熱体4及び室温校正用抵抗体7の電圧降下値と室温校正用抵抗体7の電圧降下値と電流計測用抵抗体の電圧降下値とを随時計測しデジタル信号として出力する電気計測回路13を設け、デジタル信号を記憶保持するデジタルメモリ15を設け、室温変化による誤差の除去の演算処理を行う演算処理回路14を設けた。
請求項（抜粋）：
基板をエッチングすることにより堀を形成し、この堀の上空を跨ぐように梁を形成し、この梁上に発熱体とこの発熱体の温度を計測する発熱体測温抵抗体とを設け、前記基板上に流体の温度を計測する流体測温抵抗体が設けられた感熱式マイクロブリッジ型流量計において、前記基板上に流速出力信号の補正を行う前記発熱体と直列に接続された室温校正用抵抗体を設け、基板外部に電流量の計測を行う前記発熱体及び前記室温校正用抵抗体に直列接続された電流計測用抵抗体を設け、前記発熱体と前記流体測温抵抗体との温度差を一定にするために前記発熱体測温抵抗体と前記流体測温抵抗体とバランス調整用抵抗体とが接続された電気ブリッジ回路を設け、前記発熱体両端の電圧降下値と前記発熱体及び前記室温校正用抵抗体の両端の電圧降下値と前記室温校正用抵抗体両端の電圧降下値と前記電流計測用抵抗体両端の電圧降下値との各電圧降下値を随時計測しデジタル信号として出力する電気計測回路を設け、前記デジタル信号を記憶保持するデジタルメモリを設け、室温変化による誤差の除去の演算処理を行う演算処理回路を設けたことを特徴とする感熱式マイクロブリッジ型流量計。
IPC (2件)：
引用特許：
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