特許

J-GLOBAL ID：200903022146953319

パルスレーザ加工装置

発明者： 下村 義昭 ,  緒方 浩二郎 ,  多田 信彦 ,  三柳 直毅 ,  鈴木 賢一
出願人/特許権者： 日立建機株式会社
代理人 (1件)： 春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-193057
公開番号（公開出願番号）：特開平5-038592
出願日： 1991年08月01日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：

【要約】【目的】加工部監視装置付きパルスレーザ加工装置において、被加工物の物性値の変化や入射するパルスレーザ光のエネルギ量の変化によりプルームの発光持続時間が変化しても、固定した遅延時間の設定のみで、テレビカメラのハレーション等を起こすことなく、被加工材の加工部の撮影を鮮明に行う。【構成】パルスレーザ光3の照射により被加工部7上の加工部8に発生するプルーム9の発光を、光検出器10で検出し、この検出結果を信号変換機11でパルス信号S3に変換し、S3をカメラコントローラ12に取り込む。カメラコントローラ12ではS3を外部トリガ信号としてその立ち下がりを検出し、その時刻を基準として、固定された所定の遅延時間TDの後に、設定された所定の露光時間Texpでテレビカメラ13の露光動作をコントロールする。

請求項（抜粋）：

パルスレーザ光を発振するパルスレーザ発振器と、被加工材を支持し加工位置を決定する加工テーブルと、前記被加工材の加工中に加工部を監視するための、シャッター機能を有するテレビカメラと、前記テレビカメラの露光動作をコントロールするカメラコントローラと、前記加工部の映像を撮影するテレビモニタとを有する加工部監視装置付きパルスレーザ加工装置において、加工中に生ずるプルームの発光を検出するための光検出器と、前記光検出器の検出結果に基づく前記発光強度が所定値以下になったことを捕らえる手段と、前記発光強度が所定値以下になった時点から所定時間経過後に前記テレビカメラの露光動作を開始する手段とを備えることを特徴とする加工部監視装置付きパルスレーザ加工装置。