特許
J-GLOBAL ID：200903022148720400
外観検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-289963
公開番号（公開出願番号）：特開平5-010890
出願日： 1991年11月06日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：
【要約】【目的】本発明は、外観検査装置に関し、欠陥判別辞書の作成が容易な外観検査装置を提供することを目的とする。【構成】コード正規化回路701〜709により、互いに対称なパターンのラジアルコードを同一のコードにしてラジアルコードを約1/14に低減し、カテゴリ辞書ROM761〜769でコードを分類してカテゴリに変換することによりコード数を低減し、ニューラルネットワーク78を用いることにより代表的なパターンに対してのみカテゴリを学習させる。
請求項（抜粋）：
試料(1)上に形成されたパターンを撮像する撮像手段(2)と、撮像された画像が2値化されて格納される画像記憶手段(3)と、該2値画像上の一画素から放射状に複数方向に延びた各画素列内のパターン部長さを測定するラジアル測長センサ(4)と、複数方向の該長さの組をコードに変換するコード化手段(5)と、該コードを分類して該パターンの特徴を表すカテゴリに変換するように学習される階層型ニューラルネットワーク(6)と、を有し、該カテゴリに基づいて該パターンが欠陥であるか否かを判別することを特徴とする外観検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, G06F 15/18
, G06F 15/62 405
, H05K 3/00
