特許
J-GLOBAL ID：200903022150181746
ワイヤボンディング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-058858
公開番号（公開出願番号）：特開平5-226428
出願日： 1992年02月13日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【目的】 第2ボンディング点におけるボンディング接続を確実に行うことができると共に、ワイヤループが超音波振動により変形する懸念のないワイヤボンディング方法を提供すること。【構成】 キャピラリ3によりワイヤ1を第2ボンディング点7に押圧して接続した後、微少な距離S2 だけ第1ボンディング点6から離間する方向に該キャピラリ3を移動させて超音波振動を印加することとし、以て接続長Lを大として確実な接続を達成すると共に、ワイヤループに対する超音波振動の伝達を絶ってループの変形を防止した。
請求項（抜粋）：
第1ボンディング点と第2ボンディング点との間をキャピラリを経るワイヤで接続するワイヤボンディング方法において、前記第1ボンディング点に前記ワイヤを接続後、前記キャピラリをワイヤループの形成に必要な量だけ上昇させて前記ワイヤを繰り出した後、前記キヤピラリを前記第2ボンディング点直上に移動させ、該位置から前記第2ボンディング点まで下降移動させて該第2ボンディング点に前記ワイヤを接続させ、かつ微少な距離だけ前記第1ボンディング点から離間する方向に前記キャピラリを移動させて超音波振動を印加するようにしたことを特徴とするワイヤボンディング方法。
引用特許：
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