特許
J-GLOBAL ID：200903022154338097
CCDカメラによる線幅測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 司朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-158121
公開番号（公開出願番号）：特開平5-005606
出願日： 1991年06月28日
公開日（公表日）： 1993年01月14日
要約：
【要約】【目的】 CCDカメラによる線幅測定方法に関し、対象物上に形成された形状不明の線に対して高速で線幅を検出できるようにした、CCDカメラによる線幅の測定方法を提供することを目的とする。【構成】 対象物上に形成された線L内又は線L外に注目点Pを設定し、注目点Pから放射状に偶数方向に走査して、注目点Pを通過する各直線上の両縁点Pa0,Pa1,Pb0,Pb1,Pc0,Pc1を検出し、各方向の線Lの両縁点Pa0,Pa1,Pb0,Pb1,Pc0,Pc1間の距離|Pa0-Pa1|,|Pb0-Pb1|,|Pc0-Pc1|,|Pd0-Pd1|の最小値を線幅とする構成とする。
請求項（抜粋）：
CCDカメラで読まれた対象物画像上に形成された線内又は線外に注目点を設定し、注目点から放射状に偶数方向に走査して、注目点を通過する線の両縁点を検出し、各方向の線の両縁点間距離を画素数によって演算し、各方向の線の両縁点間距離の最小値を線幅とすることを特徴とするCCDカメラによる線幅測定方法。
IPC (2件)：
G01B 11/02
, G06F 15/62 400
