特許
J-GLOBAL ID：200903022158216778
抵抗測定方法とその装置及び該装置を用いたマルチ電子源の製造方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-265384
公開番号（公開出願番号）：特開平9-113552
出願日： 1995年10月13日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：
【要約】【課題】抵抗値を有する抵抗性素子を含むマトリクス回路において、回路を破壊することなく、個々の抵抗性素子の抵抗値を高速かつ精度よく測定する。【解決手段】複数の抵抗素子がマトリクス状にレイアウトされたn×mのマトリクス回路において、m本の行方向配線は所定の抵抗値を有するモニタ抵抗3037を介して接地される。また、n本の列方向配線に対して、印加パターン切り替えスイッチ3031は、制御信号によって選択された一つの配線に電源3039よりの所定の電圧を印加するとともに、他の配線を所定の抵抗値を有するモニタ抵抗3038を介して接地する。この印加パターン切り替えスイッチ3031を制御して列方向配線の接続状態(印加パターン)を切り替え、得られる全ての接続状態のそれぞれにおいて前記列方向配線及び行方向配線の全ての端部の電圧を測定し、得られた電圧値に基づいて抵抗素子の各々の抵抗値を算出する。
請求項（抜粋）：
複数の抵抗素子がマトリクス状にレイアウトされたマトリクス回路の抵抗測定装置であって、前記マトリクス回路の各行方向配線を所定の抵抗値を有する抵抗性素子を介して接地する接続手段と、前記マトリクス回路の列方向配線の選択された一つの配線に所定の電圧を印加し、他の配線を所定の抵抗値を有する抵抗性素子を介して接地する切替手段と、前記切替手段による配線の選択を切り替えることで前記列方向配線の接続状態を切り替え、得られる全ての接続状態のそれぞれにおいて前記列方向配線及び行方向配線の全てについて端部の電圧を測定する測定手段と、前記測定手段によって得られた電圧値に基づいて前記複数の抵抗素子の各々の抵抗値を算出する算出手段とを備えることを特徴とする抵抗測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 27/02 R
, H01J 9/02 B
