特許
J-GLOBAL ID：200903022158975857
インクジエツト吐出用ノズル板およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蔵合 正博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-281360
公開番号（公開出願番号）：特開平5-116324
出願日： 1991年10月28日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：
【要約】【目的】 表面の必要部分にのみ弗素を含む化学吸着単分子膜を形成したインクジェット吐出用ノズル板およびその製造方法の提供。【構成】 ノズル板102,103のボディ部材101との接合部等に蒸着やスパッタリング等により金属薄膜を形成させる工程と、このノズル板の表面全体に弗化炭素系化学吸着単分子膜を形成する工程と、このノズル板表面の一部に形成された金属薄膜をエッチング液により剥離する工程により、従来の弗素系ポリマー塗布膜と同等の撥液性を有する極めて薄い膜厚の弗化炭素系化学吸着単分子膜をノズル板の表面の必要な部分にのみ均一に形成する。
請求項（抜粋）：
表面の必要部分にのみ弗素を含む化学吸着単分子膜を形成したインクジェット吐出用ノズル板。
IPC (2件)：
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