特許
J-GLOBAL ID:200903022160752814
光学素子モジュール
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
草野 卓 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-011516
公開番号(公開出願番号):特開2002-214484
出願日: 2001年01月19日
公開日(公表日): 2002年07月31日
要約:
【要約】【課題】 小型高集積化を可能とする。【解決手段】 シリコンよりなる基板21の表面に異方性エッチングにより、方形状凹部22と、その方形の中心を通る2直線上の、それぞれ凹部22に対する一方の側にV溝23,24を形成し、凹部22に球レンズ27を配置し、V溝23,24に光ファイバ28,29をそれぞれ配置し、基板21上の、球レンズ27を挟んで光ファイバ28,29と対向する位置に光学素子(LD,PD)31,33をそれぞれ配置する。1個の球レンズ27を2組のモジュール(光学素子と光ファイバ)で共用する。
請求項(抜粋):
球レンズの中心を通る2直線上に、それぞれ球レンズを挟んで光学素子と光ファイバとを対向配置したことを特徴とする光学素子モジュール。
IPC (5件):
G02B 6/42
, G02B 6/32
, H01L 31/0232
, H01L 31/12
, H01S 5/022
FI (6件):
G02B 6/42
, G02B 6/32
, H01L 31/12 G
, H01S 5/022
, H01L 31/02 C
, H01L 31/02 D
Fターム (24件):
2H037BA03
, 2H037BA12
, 2H037CA14
, 2H037DA04
, 2H037DA05
, 2H037DA06
, 2H037DA12
, 5F073BA01
, 5F073FA02
, 5F073FA07
, 5F073FA08
, 5F073FA30
, 5F088BA15
, 5F088BA16
, 5F088BB01
, 5F088EA09
, 5F088EA20
, 5F088JA12
, 5F088JA14
, 5F089AA01
, 5F089AC10
, 5F089AC17
, 5F089CA20
, 5F089GA01
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