特許

J-GLOBAL ID：200903022161656380

基板保持装置及び露光装置

発明者： 徳田 憲昭
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 前田 均 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-143055
公開番号（公開出願番号）：特開2003-332411
出願日： 2002年05月17日
公開日（公表日）： 2003年11月21日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】それ自体の平坦度を高くし、もってウエハを高精度に平坦に保持するウエハホルダを提供する。【解決手段】ウエハホルダ200においては、ウエハ300を保持する基板保持部220を、基台210上面全面を正三角形の格子状に一様に分布したピン221及びその周囲を囲むリム部222とにより構成する。また、その反対面の基台210の底面に、同様に正三角形の格子状に分布するピン231とその周囲を囲むリム部232とを形成し支持部230とする。このピン231及びリム部232をZLステージ192の上面193に当接させてウエハホルダ200を支持し、ZLステージ192に設けられた給排気孔196を介してZLステージ192と基台210との間の空間233を真空吸引することにより、ウエハホルダ200をZLステージ192上に固定的に保持する。

請求項（抜粋）：

平板状の基板を保持する基板保持装置であって、平板状の基台と、前記基台の一方の面に設けられ、載置される基板を、当該基板が平坦に維持されるように保持する基板保持部と、前記基台の他方の面に設けられ、各先端部が実質的に同一平面を構成するように形成された複数の突起部を有し、当該突起部の先端部を所定の平坦面上に当接させることにより、当該基板保持装置を前記平坦面上に支持する支持部とを有する基板保持装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01L 21/68 P ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 C

Fターム (13件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031HA08 ,  5F031HA10 ,  5F031HA13 ,  5F031HA33 ,  5F031MA27 ,  5F031PA14 ,  5F031PA21 ,  5F046CC08 ,  5F046CC09 ,  5F046CC11