特許
J-GLOBAL ID：200903022163054620
オンチップレンズの形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 邦夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-008754
公開番号（公開出願番号）：特開平5-198785
出願日： 1992年01月21日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】オンチップレンズの形成方法において、最適な特性をもつレンズを形成する方法を提供する。【構成】オンチップレンズの形成方法であって、チップ1の表面上にレンズ材料層2を形成する工程と、上記レンズ材料層2上にレンズ形成領域毎に微細パターン3aを形成する工程と、上記微細パターン3aおよび上記レンズ材料層2上全面にセルフリフロー膜4を形成することにより、上記微細パターン3a上にセルフリフロー膜4によるレンズ形状を形成する工程と、上記セルフリフロー膜4および上記微細パターン3aおよび上記レンズ材料層2を上記セルフリフロー膜4のレンズ形状を保持した状態でエッチバックする工程を含む。
請求項（抜粋）：
オンチップレンズの形成方法であって、チップ表面上にレンズ材料層を形成する工程と、前記レンズ材料層上にレンズ形成領域毎に微細パターンを形成する工程と、前記微細パターンおよび前記レンズ材料層上全面にセルフリフロー膜を形成することにより、前記微細パターン上にセルフリフロー膜によるレンズ形状を形成する工程と、前記セルフリフロー膜および前記微細パターンおよび前記レンズ材料層を前記セルフリフロー膜のレンズ形状を保持した状態でエッチバックする工程を含むことを特徴とするオンチップレンズの形成方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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