特許

J-GLOBAL ID：200903022164800481

容量測定方法及び容量測定装置

発明者： 森川 雅弘 ,  古田 和三 ,  堀井 康司
出願人/特許権者： コニカ株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-151494
公開番号（公開出願番号）：特開2001-330634
出願日： 2000年05月23日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】 本発明は容量測定方法及び容量測定装置に関し、電極列の静電容量測定にかかる時間を短縮することを目的としている。【解決手段】 複数の電極列にプローブで一括接触するマルチプローバ20と、該マルチプローバ20の出力を切り替えるスキャナ30と、該スキャナ30から出力される電極間容量を並列測定する複数の容量測定器40とを具備して構成する。

請求項（抜粋）：

複数の電極列をマルチプローバで一括接触し、測定チャネルをスキャナで切り替え、複数の容量測定器で前記電極間の容量を並列測定することを特徴とする容量測定方法。

IPC (4件)：

G01R 27/26 ,  B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055

FI (3件)：

G01R 27/26 C ,  B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A

Fターム (15件)：

2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG45 ,  2C057AP82 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14 ,  2G028AA02 ,  2G028AA04 ,  2G028BB06 ,  2G028CG07 ,  2G028DH04 ,  2G028HM05 ,  2G028HM08 ,  2G028HN12 ,  2G028JP04