特許
J-GLOBAL ID：200903022174741564
検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-185923
公開番号（公開出願番号）：特開平8-050099
出願日： 1994年08月08日
公開日（公表日）： 1996年02月20日
要約：
【要約】【目的】 被検査対象物の照度を一定とし、被検査対象物の測定精度の向上を図ることができる検査装置を提供すること。【構成】 載置台2上の被検査対象物4を撮像するCCDカメラ30と、被検査対象物4に対して光を照射する照明装置36と、被検査対象物4の近傍で、CCDカメラ30の撮像範囲内に配置される照度調整用マーク46とを有する外観検査装置。コンピュータ34は、CCDカメラ30により撮像された照度調整用マーク46の明るさの読み取り値B1と、規定値A1とを比較し、読み取り値B1が規定値A1よりも小さい場合には、照明装置36からの照射光が一単位明るくなるように信号を出力し、読み取り値B1が規定値A1よりも大きい場合には、照明装置36からの照射光が一単位暗くなるように信号を出力する。
請求項（抜粋）：
被検査対象物が置かれる載置台と、前記載置台上の被検査対象物を撮像する撮像手段と、前記被検査対象物に対して光を照射する照明手段と、前記被検査対象物の近傍で、前記撮像手段の撮像範囲内に配置される照度調整用マークと、前記撮像手段により撮像された前記照度調整用マークの明るさの読み取り値と、規定値とを比較し、読み取り値が規定値よりも小さい場合には、前記照明手段からの照射光が一単位明るくなるように信号を出力し、読み取り値が規定値よりも大きい場合には、前記照明手段からの照射光が一単位暗くなるように信号を出力する制御手段とを有する検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/84
, G01B 11/24
, G06T 1/00
, H04N 7/18
G06F 15/62 380
, G06F 15/64 325 G
