マスクおよび露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-197865
公開番号（公開出願番号）：特開2000-031019
出願日： 1998年07月13日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】周辺部を吸着して搬送する際にも周辺を損傷させることなく、また水平に載置した際にも結像特性を低下させず、さらにはアライメントマークを容易に検出する。【解決手段】パターンを有したパターン部18と、パターンが形成されていない非パターン部19とを有するマスク6において、非パターン部19のうち、マスクの搬送に用いられる部分を覆うカバー部21を設けた。

請求項（抜粋）：

パターンを有したパターン部と、該パターンが形成されていない非パターン部とを有するマスクにおいて、前記非パターン部のうち、前記マスクの搬送に用いられる部分を覆うカバー部を設けたことを特徴とするマスク。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 1/14

FI (3件)：

H01L 21/30 503 D , G03F 1/14 Z , H01L 21/30 502 P

Fターム (13件)：

2H095BA01 , 2H095BB29 , 2H095BB37 , 2H095BE03 , 2H095BE11 , 5F046BA05 , 5F046CB17 , 5F046CC02 , 5F046CC03 , 5F046CC06 , 5F046CC09 , 5F046CD02 , 5F046DA06

引用特許：

審査官引用 (4件)

試料搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-033466 出願人：株式会社ニコン
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-228721 出願人：株式会社ニコン
特開昭59-124721

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