特許

J-GLOBAL ID：200903022184437375

光エネルギー照射装置

発明者： 田内 亮彦 ,  市村 知佳子 ,  玉井 幸一 ,  佐々木 博基
出願人/特許権者： ハリソン東芝ライティング株式会社
代理人 (1件)： 小野田 芳弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-049683
公開番号（公開出願番号）：特開2005-243797
出願日： 2004年02月25日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：

【課題】 光エネルギー照射部に照射される光エネルギーを、その場において測定可能なように光エネルギー測定手段を具備した光エネルギー照射装置を提供する。 【解決手段】 光エネルギー照射装置は、閃光放電ランプHFLと;閃光放電ランプHFLの発光を被照射物に集光するミラーMと;閃光放電ランプHFLおよびミラーMと離間して対向する位置に配設されて被照射物を載置する光エネルギー照射部WLIと;光エネルギー照射部WLIに被照射物の載置に支障ないように配設された光エネルギーセンサLSと;光エネルギーセンサLSの出力に基づいて照射される光エネルギーを測定する光エネルギーモニターLMと;閃光放電ランプHFLにパルス電流を供給して点灯する閃光放電ランプ点灯回路LOCと;を具備している。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

閃光放電ランプと; 閃光放電ランプの発光を被照射物に集光するミラーと; 閃光放電ランプおよびミラーと離間して対向する位置に配設されて被照射物を支持する光エネルギー照射部と; 光エネルギー照射部に被照射物の載置に支障ないように配設された光エネルギーセンサと; 光エネルギーセンサの出力に基づいて照射される光エネルギーを測定する光エネルギーモニターと; 閃光放電ランプにパルス電流を供給して点灯する閃光放電ランプ点灯回路と; を具備していることを特徴とする光エネルギー照射装置。

IPC (4件)：

H01L21/26 ,  G21K1/04 ,  G21K5/00 ,  H01J61/80

FI (6件)：

H01L21/26 T ,  G21K1/04 S ,  G21K5/00 A ,  G21K5/00 Z ,  H01J61/80 ,  H01L21/26 G

Fターム (1件)：

5C039HH13