特許
J-GLOBAL ID:200903022194329970
音叉型水晶振動子の電極形成方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-180833
公開番号(公開出願番号):特開平8-023249
出願日: 1994年07月07日
公開日(公表日): 1996年01月23日
要約:
【要約】【目的】 断線、短絡のなくしたより信頼性の高い、音叉型水晶振動子を提供することを目的とする。【構成】 音叉型水晶片主面の励振電極上部にて内外側面の励振電極を共通接続する為の引き回し電極を形成する窓21Cを分けるブリッジ部31C,32Cのブリッジ部端311C,321Cは、それぞれが音叉型水晶片の短手方向で平面的に同一直線上に重ならないようにずらせて設け、かつ、上記左右のブリッジ部端は主面励振電極と上記引き回し電極を形成する窓を分けるマスキング部33C,34Cより少なくとも音叉型水晶片の長手方向上部にて設けられた電極形成用蒸着マスク2Cを用いて、音叉型水晶片の表裏面を挟持し、電極を形成した。
請求項(抜粋):
少なくとも二本の脚部を有する音叉型水晶片に、第一の励振電極を一方の脚部の表裏面と他方の脚部の内外側面に設けて各々共通接続し、第二の励振電極を一方の脚部の内外側面と他方の脚部の表裏面に設けて各々接続してなる音叉型水晶振動子の電極形成用蒸着マスクであって、?@音叉型水晶片主面の励振電極上部にて内外側面の励振電極を共通接続する為の引き回し電極を形成する窓を分ける左右のブリッジ部は音叉型水晶片の長手方向上部に少なくともいったん引き回して設ける、?A上記引き回された左右のブリッジ部端は、それぞれが音叉型水晶片の短手方向で平面的に同一直線上に重ならないようにずらせて設ける、?B上記左右のブリッジ部端は主面励振電極と上記引き回し電極を形成する窓を分けるマスキング部より少なくとも音叉型水晶片の長手方向上部にて設ける、以上の?@?A?B要件を満たした電極形成用蒸着マスクを用いて、音叉型水晶片の表裏面を挟持し、電極を形成した事を特徴とする音叉型水晶振動子の電極形成方法。
IPC (3件):
H03H 3/02
, H03H 9/19
, H03H 9/215
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