特許
J-GLOBAL ID：200903022211033192
駆動装置及びステージ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-161171
公開番号（公開出願番号）：特開平9-320955
出願日： 1996年05月31日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：
【要約】【課題】 被駆動物を容易に且つ高精度に位置制御する。【解決手段】 第2部材50に固定されたコイル52に電流を流すと、このコイル52と一方の永久磁石46との間に吸引力が生じ、コイル52と他方の永久磁石48との間には反発力が生じて第1部材44に対し第2部材50が上下方向に相対的に駆動される。この場合反発力と吸引力とコイル-永久磁石間の距離との関係は互いに逆の特性を示すので、コイル52に同時に作用する反発力と吸引力とが互いの非線形な変化を打ち消しあい、コイル52の永久磁石46、48に対する位置によらず、電流に対して極めて線形性の高い力が発生する。従って、コイル52に流れる電流が一定である限りほぼ一定の力で第2部材50が取り付けられた被駆動物20は第1部材44が固定されたステージ19に対し相対的に駆動される。
請求項（抜粋）：
磁気力により第1部材に対し第2部材を相対的に駆動して、被駆動物を直線状に駆動する駆動装置であって、駆動方向に沿って所定間隔で配置され、それぞれの磁束の向きが前記駆動方向上で相互に逆向きになる状態で前記第1部材及び第2部材の内の一方の部材に固定された一対の永久磁石要素と;前記第1部材及び第2部材の内の他方の部材に固定されるとともに前記一対の永久磁石要素相互間に配置され、前記駆動方向と略平行になる向きの磁束を発生するコイル要素とを有する駆動装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L 21/30 515 G
, B23Q 5/28 B
, H01L 21/30 541 L
