特許

J-GLOBAL ID：200903022223465616

電子線描画装置

発明者： 加藤 慎一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-243735
公開番号（公開出願番号）：特開平8-111364
出願日： 1994年10月07日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：

【要約】【目的】 電子線描画装置の振動を高精度で検出し、描画効率を低下させることなく描画誤差を補正し、描画精度が向上された電子線描画装置を実現する。【構成】 実際の描画前に描画データに基づきステージ7を移動させ電子線ずれを電流検出器35、偏差検出部36により検出し、ずれが最小となるアクティブダンパ29の制御値を振動制御部37が決定し、その制御値を描画パターン毎にメモリ331に記憶させる。最小となった偏差は描画パターン毎に偏差メモリ332に記憶される。振動値メモリ331に記憶された振動値データは実描画時にステージ制御部12からの描画パターンデータに応じて振動制御部37が読み出しアクティブダンパ29を駆動して振動制御を行う。偏差メモリ332に記憶された偏差データはステージ制御部12からの描画パターンデータに応じて偏向制御部11が読み出し、電子線ズレが0となるように偏向器5を補正制御する。

請求項（抜粋）：

電子銃と、電子光学系鏡体と、試料移動搬送手段と、除振台とを有し、電子線から発生された電子線を任意図形に成形し試料面上に描画する電子線描画装置において、上記試料面の所定位置と電子線の試料面の照射位置との偏差を検出する電子線偏差検出手段と、振動を発生する振動発生手段と、電子線描画パターン毎に、電子線偏差検出手段により検出された上記偏差が最小となるように、振動発生手段の振動動作を制御する振動制御手段と、描画パターン毎に電子線を偏向して、振動制御手段により最小とされた電子線の偏差を補正する偏向補正手段と、を備えることを特徴とする電子線描画装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 541 D ,  H01L 21/30 503 F ,  H01L 21/30 541 G