特許

J-GLOBAL ID：200903022229895043

照明光学装置並びに露光装置及び方法

発明者： 工藤 祐司 ,  谷津 修 ,  豊田 光紀 ,  渋谷 眞人
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-157332
公開番号（公開出願番号）：特開2001-338861
出願日： 2000年05月26日
公開日（公表日）： 2001年12月07日
要約：

【要約】【課題】 照明光学装置中の光学部材へのダメージを低減させる。【解決手段】 照明光を供給する光源1と、多数の光源像からなる二次光源を形成するためのオプティカルインテグレータ7との間の光路中の位置であって被照射面Wと共役な位置または該位置の近傍に配置されて、光源像を拡大させる光源像拡大手段75を有する

請求項（抜粋）：

照明光を供給するための光源手段と、該光源手段からの光束に基づいて多数の光源像からなる二次光源を形成するためのオプティカルインテグレータと、前記オプティカルインテグレータからの光束を被照射面または該被照射面と光学的に共役な面へ導くためのコンデンサー光学系とを備えた照明光学装置において、前記オプティカルインテグレータと前記光源との間の光路中の位置であって前記被照射面と共役な位置または該位置の近傍に配置されて、前記光源像を拡大させる光源像拡大手段を有することを特徴とする照明光学装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G02B 3/00 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

G02B 3/00 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 515 B

Fターム (6件)：

5F046BA04 ,  5F046CA04 ,  5F046CB13 ,  5F046CB14 ,  5F046CB19 ,  5F046CB23