特許
J-GLOBAL ID：200903022231251188
穴形状光測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅 隆彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-262205
公開番号（公開出願番号）：特開平5-099631
出願日： 1991年10月09日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【目的】加工物に貫設された穴内面形状を高速かつ無接触で立体的に測定する。【構成】ビーム状の光線Lを発するレーザダイオード2と、該光線Lを90°からややはずれた角度rだけ曲げるプリズム5と、当該曲げた光線Lをもとの光線Lを中心軸として回転させるようモータ9駆動の外歯歯車輪4と一体かつプリズム5を容置した円筒6と、曲げられた光線Lが被測定穴βの内面に当ってできる照射スポットγ光点の乱反射を途中プリズム5と半透明鏡3を経て集光する結像レンズ12と、照射スポットγ光点の位置を上下方向に連続的に無段変位移動するようケース1の二股ブラケット1aの雌螺子孔17,18に螺合するモータ15駆動のボール螺子16と、当該結像レンズ12によって集光した光線Lが作る光点の像δを検出するPSD13と、当該PSD13で検出した像δ位置から、3角測量の原理により光点位置を算出する演算器14とからなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
ビーム状の光線を発する第1の手段と、該光線を90°からややずれた角度だけ曲げる第2の手段と、当該曲げた光線をもとの光線を中心軸として回転させる第3の手段と、曲げられた光線が穴の内面に当たってできる光点の乱反射光を集光する第4の手段と、当該第4の手段によって集光した光が作る光点の像の位置を検出する第5の手段と、当該第5の手段により検出した像位置から、3角測量の原理により光点位置を算出する第6の手段とから構成されることを特徴とする穴形状光測定装置
引用特許：
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