特許
J-GLOBAL ID：200903022234242929
温度検出用水晶振動子
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-230203
公開番号（公開出願番号）：特開平6-074834
出願日： 1992年08月28日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：
【要約】【目的】 等価直列共振抵抗値が小さくかつ、その温度変化が小さな他に、変動が少なく安価でさらには使用温度範囲が広い高精度な温度検出用水晶振動子を提供する。【構成】 α水晶単結晶より特定の切断方位で水晶ウェハを加工した上でフォトエッチング加工で音叉型形状を有する水晶片を加工する場合に、前記水晶片の腕部、長さ、板厚を適正に設定する他に、いわゆるヒレの残量を減少させるか又は腕幅の一方を増減させて前記水晶片の基部変位を低減させた基本波屈曲振動モードをもつ水晶片を耐熱半田で支持固着させて、圧入により気密封止した耐熱容器に収納したことを特徴とする温度検出用水晶振動子。
請求項（抜粋）：
α水晶単結晶の電気軸+Xと機械軸+Yの作る平面を主平面とするZカットウェハを、前記電気軸+Xの回りに時計方向に電気機械結合係数がほぼ最大となる範囲の角度である15から25 ゚の範囲で回転してできる板厚80から150μmの水晶ウェハから、前記水晶ウェハの回転後の+Y軸であるY’軸に平行に腕の長手方向を有する音叉型形状であって、かつ腕形状の寸法の有する辺比が(腕幅/腕長)比が0.1から0.2の水晶片をフォトエッチングによりヒレを減じて外形加工した後、基本波振動モードにて振動可能なように励振電極を形成して振動子の等価直列共振抵抗値の温度特性の頂点温度がほぼ常温(25±15°C)として、耐熱容器に支持し収納したことを特徴とする温度検出用水晶振動子。
IPC (3件)：
G01K 7/32
, H03H 9/19
, H03H 9/215
