特許

J-GLOBAL ID：200903022235369353

金属箔パターンエッチング製品の欠陥検査方法

発明者： 長久保 亮
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： 松本 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-308730
公開番号（公開出願番号）：特開2000-131249
出願日： 1998年10月29日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：

【要約】【課題】本発明の課題は、パターン検査に加えて異物等の外観検査が可能で且つ欠陥がどのような欠陥モードなのかを正確に検査することができる金属箔パターンエッチング製品の欠陥検査方法を提供することにある。【解決手段】本発明は、レジスト塗布フレキシブルプリント基板の該レジスト面が、パターンマスクを介して露光、現像して成るレジスト面パターン現像フレキシブルプリント基板中間製品のレジスト面へ斜め上方からX線を照射した後、該X線照射面から励起された蛍光X線を中心部上方に設置された蛍光X線カウンターで観測し、然る後該蛍光X線カウンターの観測データを画像処理することによりレジスト面のパターン検査と外観検査とを同時に行うようにすることを特徴とする金属箔パターンエッチング製品の欠陥検査方法にある。

請求項（抜粋）：

レジスト塗布フレキシブルプリント基板の該レジスト面が、パターンマスクを介して露光、現像して成るレジスト面パターン現像フレキシブルプリント基板中間製品のレジスト面へ斜め上方からX線を照射した後、該X線照射面から励起された蛍光X線を中心部上方に設置された蛍光X線カウンターで観測し、然る後該蛍光X線カウンターの観測データを画像解析することによりレジスト面のパターン検査と外観検査とを同時に行うようにすることを特徴とする金属箔パターンエッチング製品の欠陥検査方法。

IPC (2件)：

G01N 23/223 ,  G06T 7/00

FI (2件)：

G01N 23/223 ,  G06F 15/62 405 A

Fターム (21件)：

2G001AA01 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA09 ,  2G001EA06 ,  2G001EA20 ,  2G001FA02 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001HA07 ,  2G001KA03 ,  2G001KA20 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA11 ,  5B057AA03 ,  5B057BA03 ,  5B057CE06 ,  5B057DA03 ,  5B057DC22