特許
J-GLOBAL ID:200903022236042463

波長計測装置および波長計測方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 和泉 良彦 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-143106
公開番号(公開出願番号):特開2002-340688
出願日: 2001年05月14日
公開日(公表日): 2002年11月27日
要約:
【要約】【課題】装置が小型、軽量、安価で、かつ、高精度な波長計測を行うことができる波長計測装置および波長計測方法を提供する。【解決手段】基板3上に波長感度特性の異なる2層の光電変換体層A、Bを設けたデバイスと、各光電変換体層A、Bにおける光電変換電流を計測する電流計8、10と、電流計8、10から出力された電流値をもとに波長を決定するための演算を行う演算手段とを有する波長計測装置と、上記デバイスを用い、該デバイスに計測対象光を受光させ、入射した光の光路の少なくとも2箇所における光電変換電流を計測し、この少なくとも2箇所から出力された電流値を、除法を基礎とする演算式に導入して得られた計算値を、波長と一義的に対応させることで計測対象光の波長を決定する波長計測方法。
請求項(抜粋):
基板上に設けた光電変換体積層構造に入射した光の光路の少なくとも2箇所において波長感度特性の異なる光電変換を行うデバイスと、上記少なくとも2箇所における光電変換電流を計測する計測手段と、上記計測手段から出力された電流値をもとに波長を決定するための演算を行う演算手段とを有することを特徴とする波長計測装置。
IPC (4件):
G01J 9/00 ,  G01J 1/02 ,  G01J 3/30 ,  H01L 31/10
FI (4件):
G01J 9/00 ,  G01J 1/02 B ,  G01J 3/30 ,  H01L 31/10 A
Fターム (15件):
2G020BA19 ,  2G020BA20 ,  2G020CD24 ,  2G065AA20 ,  2G065BA02 ,  2G065BB25 ,  2G065CA21 ,  5F049MA02 ,  5F049MA05 ,  5F049MA20 ,  5F049NA10 ,  5F049NB07 ,  5F049QA07 ,  5F049UA18 ,  5F049UA20

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