電子放出素子、電子源、表示パネルおよび画像形成装置の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-171654
公開番号（公開出願番号）：特開平10-003851
出願日： 1996年06月12日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】【課題】基板上の対向する電極間に付与した液滴のドット径が、所望の大きさ以上に広がることがなく、液滴の溶媒が蒸発することのない表面伝導型電子放出素子、この素子を用いた電子源、表示パネルおよび画像形成装置の製造方法を提供する。【解決手段】基板上の対向する電極間に、導電性薄膜形成用材料を含む溶液の液滴を付与して導電性薄膜を形成し、該導電性薄膜の一部に電子放出部を形成する電子放出素子の製造方法であって、前記液滴の付与を湿度が70%以下に保持された雰囲気下にて行うことを特徴とする電子放出素子の製造方法。

請求項（抜粋）：

基板上の対向する電極間に、導電性薄膜形成用材料を含む溶液の液滴を付与して導電性薄膜を形成し、該導電性薄膜の一部に電子放出部を形成する電子放出素子の製造方法であって、前記液滴の付与を湿度が70%以下に保持された雰囲気下にて行うことを特徴とする電子放出素子の製造方法。

IPC (3件)：

H01J 9/02 , H01J 1/30 , H01J 31/12

FI (3件)：

H01J 9/02 B , H01J 1/30 B , H01J 31/12 C

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