音波トランスデューサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：広瀬和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-116925
公開番号（公開出願番号）：特開平5-292598
出願日： 1992年04月09日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：

【要約】【目的】精密な形状を保持したまま全体寸法を小型化し、超音波の指向性を高めて感度を向上する。【構成】シリコン材料から角筒状に形成された台座1の他端面1Bに、熱酸化法の手段を用いて薄膜状の基板部3を形成し、該基板部3の表面に、各電極5,7および圧電体6からなる振動子4を設ける。次に、別工程でシリコン材料から角筒状に形成されたホーン8と台座1とを陽極接合して製造する。そして、各電極5,7を介して振動子4に電圧信号を印加すると、該振動子4は各開口部2,9内を微小振動して超音波を発生し、この超音波はホーン8により指向性を高められて外部の物体に発射される。また、物体からの反射波はホーン8により集音されて振動子4に伝達される。

請求項（抜粋）：

一端側から他端側に向けて順次縮径する開口部が設けられたシリコン製の台座と、前記開口部を施蓋するように該台座の他端側に設けられた平板状の基板部と、該基板部の他端側に設けられた第1の電極と、該第1の電極の他端側に設けられた圧電体と、該圧電体の他端側に設けられた第2の電極と、該第2の電極の他端側に位置して前記台座に設けられ、一端側から他端側に向けて順次拡径する開口部が形成されたシリコン製のホーンとから構成してなる音波トランスデューサ。

IPC (4件)：

H04R 17/00 332 , G01N 29/24 , G01S 7/52 , G01V 1/00

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開昭64-072700
特開昭61-220598

審査官引用 (2件)

特開昭64-072700
特開昭61-220598

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