特許

J-GLOBAL ID：200903022247957110

光学素子及びその製造方法、露光装置、デバイス製造方法、並びに、デバイス

発明者： 加藤 日出夫 ,  酒井 啓太
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-076179
公開番号（公開出願番号）：特開2002-275278
出願日： 2001年03月16日
公開日（公表日）： 2002年09月25日
要約：

【要約】【課題】 量産が容易で 紫外光、遠紫外光及び真空紫外光の透過率が高い光学素子及びその製造方法、露光装置、デバイス製造方法、並びに、デバイスを提供する。【解決手段】 本発明の一側面としての製造方法は、透明な弗素樹脂部を有する物品を製造する方法であって、弗素樹脂を蒸発させるステップと、前記蒸発した弗素樹脂を冷却することにより前記透明樹脂部を形成するステップとを有する。かかる製造方法より製造される物品(光学素子)は、弗素系から構成されているので紫外線の吸収が小さいので、紫外光、遠紫外光、真空紫外光を利用する露光装置に適用可能である。

請求項（抜粋）：

透明な弗素樹脂部を有する物品を製造する方法であって、弗素樹脂を蒸発させるステップと、前記蒸発した弗素樹脂を冷却することにより前記透明樹脂部を形成するステップとを有する製造方法。

IPC (10件)：

C08J 5/00 CEW ,  B29C 39/02 ,  B29C 43/18 ,  C08J 7/04 ,  C23C 14/12 ,  G02B 1/00 ,  G02B 3/00 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (10件)：

C08J 5/00 CEW ,  B29C 39/02 ,  B29C 43/18 ,  C08J 7/04 Z ,  C23C 14/12 ,  G02B 1/00 ,  G02B 3/00 Z ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (57件)：

2H097BA02 ,  2H097CA12 ,  2H097CA13 ,  2H097LA10 ,  4F006AA18 ,  4F006AB19 ,  4F006AB73 ,  4F006BA00 ,  4F006BA14 ,  4F006BA15 ,  4F006CA05 ,  4F006DA01 ,  4F006DA05 ,  4F006EA05 ,  4F071AA26 ,  4F071AA27 ,  4F071AF30 ,  4F071AF54 ,  4F071AH15 ,  4F071AH19 ,  4F071BA01 ,  4F071BB03 ,  4F071BC01 ,  4F071BC03 ,  4F204AA16 ,  4F204AA17 ,  4F204AD02 ,  4F204AG03 ,  4F204EB01 ,  4F204EF01 ,  4F204EF05 ,  4F204EF23 ,  4F204EF30 ,  4F204EF49 ,  4F204EK13 ,  4F204EK15 ,  4F204FA01 ,  4F204FB01 ,  4F204FF01 ,  4F204FF05 ,  4F204FF23 ,  4F204FF49 ,  4F204FN11 ,  4K029AA08 ,  4K029AA21 ,  4K029BA62 ,  4K029BC07 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  4K029DB18 ,  4K029GA00 ,  5F046BA03 ,  5F046CA08 ,  5F046CB01 ,  5F046CB12 ,  5F046CB23 ,  5F046CB25