特許
J-GLOBAL ID：200903022252262660
オメガ型エネルギーフィルタ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-069413
公開番号（公開出願番号）：特開平7-282773
出願日： 1994年04月07日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】 低収差で高分解能のオメガ型エネルギーフィルタを実現する。【構成】 中心面に対して左右対称形に配置された同形状の扇型磁石からなる4つの磁場セクタを有するオメガ型エネルギーフィルタにおいて、20mm≦R<SB>1</SB>≦80mm、0.7≦R<SB>1 </SB>/R<SB>2 </SB>≦1.3、30°≦Φ<90°、40mm≦LL≦140mm、8mm≦L3≦28mm、100mm≦L4≦180mm、20mm≦L5≦100mmとし、Φ<90°の条件で低収差・高分解能のオメガ型エネルギーフィルタを実現したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
中心面に対して左右対称形に配置された同形状の扇型磁石からなる4つの磁場セクタを有するオメガ型エネルギーフィルタにおいて、R<SB>1 </SB>、R<SB>2 </SB>を扇型磁石の半径、Φを磁場セクタの入射面と出射面間での電子軌道の曲げ角、L3をフィルタ中心面と直近の磁石間との距離、L4をフィルタ中心面に対して一方の側の磁石間の距離、L5を出射側磁石からスリット面までの距離としたとき、20mm≦R<SB>1 </SB>≦80mm0.7≦R<SB>1 </SB>/R<SB>2 </SB>≦1.330°≦Φ<90°40mm≦LL≦140mm8mm≦L3≦28mm100mm≦L4≦180mm20mm≦L5≦100mmであることを特徴とするオメガ型エネルギーフィルタ。
IPC (3件)：
H01J 49/44
, H01J 37/05
, H01J 37/26
