特許

J-GLOBAL ID：200903022259476363

ゲートバルブ

発明者： 渡辺 慎一
出願人/特許権者： 川崎製鉄株式会社
代理人 (1件)： 森 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-334567
公開番号（公開出願番号）：特開平6-185634
出願日： 1992年12月15日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：

【要約】【目的】真空処理室及び搬送室間を通じるゲートを、処理実行中には閉鎖状態とし製品の挿入時や取り出し時には開放状態とするゲートバルブにおいて、メンテナンス時における他の装置への影響の低減を図るとともに、内部リーク及び外部リークの判別が容易となるようにする。【構成】真空処理室1及び搬送室2間のゲート3に、一対の弁体4及び5を配設する。ただし、これら弁体4及び5は、ゲート3を二重に閉鎖可能で且つ一方のみでもゲート3を閉鎖可能に配設する。また、弁体4及び5で挟まれた空間10に流体路6の一端を通じさせ、その流体路6の他端側は、バルブ7Aが設けられた分岐路6Aを介して窒素ガス供給源に通じさせるとともに、バルブ7Bが設けられた分岐路6Bを介して真空ポンプに通じさせる。

請求項（抜粋）：

真空処理室及び搬送室間のゲートを開閉するゲートバルブにおいて、前記ゲートを二重に閉鎖可能であって且つ一方のみでも前記ゲートを閉鎖可能な一対の弁体と、これら弁体で挟まれた空間を加圧状態及び真空状態に切り換え可能な圧力調整手段と、を設けたことを特徴とするゲートバルブ。

IPC (3件)：

F16K 3/00 ,  B65B 31/02 ,  F16K 43/00