特許

J-GLOBAL ID：200903022261540877

薄膜コイル素子及びその製造方法

発明者： 田沼 俊雄 ,  吉川 秀樹 ,  吉岡 功一 ,  石原 宏三 ,  堀元 重浩 ,  本郷 政紀
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社 ,  三洋電子部品株式会社
代理人 (1件)： 目次 誠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-364615
公開番号（公開出願番号）：特開2001-185419
出願日： 1999年12月22日
公開日（公表日）： 2001年07月06日
要約：

【要約】【課題】 コイル抵抗の低減を図ることができる新規な薄膜コイル構造を有する薄膜コイル素子を提供する。【解決手段】 面内にスパイラル状に形成された第1の薄膜コイル1と、第1の薄膜コイル1と同一面内において第1の薄膜コイル1に沿い隣接してスパイラル状に形成される第2の薄膜コイル2と、第1の薄膜コイル1と第2の薄膜コイル2の間に設けられた絶縁層3とを備えることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

面内にスパイラル状に形成された第1の薄膜コイルと、前記第1の薄膜コイルと同一面内において前記第1の薄膜コイルに沿い隣接してスパイラル状に形成された第2の薄膜コイルと、前記第1の薄膜コイルと前記第2の薄膜コイルの間に設けられた絶縁層とを備えることを特徴とする薄膜コイル素子。

IPC (3件)：

H01F 17/00 ,  G11B 5/31 ,  G11B 11/105 561

FI (3件)：

H01F 17/00 B ,  G11B 5/31 Z ,  G11B 11/105 561 E

Fターム (13件)：

5D033BA36 ,  5D033DA04 ,  5D033DA07 ,  5D075AA03 ,  5D075CC04 ,  5D075CF03 ,  5E070AA01 ,  5E070AB03 ,  5E070AB10 ,  5E070CB12 ,  5E070CB13 ,  5E070CB20 ,  5E070CC10