特許

J-GLOBAL ID：200903022269947224

グライド欠陥分析装置

発明者： 寺尾 元宏 ,  井上 直樹 ,  久保田 昌実
出願人/特許権者： 株式会社クボタ
代理人 (1件)： 山田 義人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-384624
公開番号（公開出願番号）：特開2002-183946
出願日： 2000年12月19日
公開日（公表日）： 2002年06月28日
要約：

【要約】【構成】 グライド欠陥分析装置10はスピンドルユニット38を含み、スピンドルユニット38にディスク56が搭載される。オペレータが処理の開始を指示すると、Xステージ36が移動され、ヘッドがロードされる。そして、バーニッシュヘッドによって比較的大きなグライド欠陥が除去された後に、グライド欠陥テストが開始され、グライドヘッド80を用いてディスク56上に形成されたグライド欠陥の位置情報Sが取得される。全グライド欠陥の位置情報Sが取得されると、この位置情報Sに基づいて、クラッチユニット40によって、テスト時よりも高分解能でディスク56が回転され、位置決めされる。また、グライド欠陥画像が取得され、位置情報Sよりも詳細な位置情報S′が取得される。そして、詳細な位置情報S′に従って、グライド欠陥がマーキングされる。【効果】 短時間で正確にグライド欠陥を分析することができる。

請求項（抜粋）：

ディスクを搭載するかつ前記ディスクを回転させるスピンドルユニット、前記スピンドルユニットを前記ディスクの径方向に変位させる変位手段、前記ディスクの回転を制御する回転制御手段、グライド欠陥検査時に前記ディスク上に形成されたグライド欠陥の第1位置情報を取得する第1位置情報取得手段、前記第1位置情報を記憶する記憶手段、前記第1位置情報を含む所定領域の複数の画像を取得する画像取得手段、前記画像から前記グライド欠陥の有無を判定しグライド欠陥画像を取得するグライド欠陥画像取得手段、前記グライド欠陥画像に基づいて前記第1位置情報より精度が高い第2位置情報を取得する第2位置情報取得手段、および前記第2位置情報に従って前記グライド欠陥にマーキングするマーキング手段を備える、グライド欠陥分析装置。

IPC (4件)：

G11B 5/84 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/95 ,  G11B 7/26

FI (4件)：

G11B 5/84 C ,  G01B 11/30 A ,  G01N 21/95 A ,  G11B 7/26

Fターム (29件)：

2F065AA49 ,  2F065BB03 ,  2F065CC03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF66 ,  2F065FF67 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM02 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065SS07 ,  2F065SS13 ,  2F065UU04 ,  2G051AA71 ,  2G051AB07 ,  2G051CA04 ,  2G051DA01 ,  2G051DA08 ,  2G051DA15 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  5D112AA24 ,  5D112JJ05 ,  5D121HH01 ,  5D121HH18