特許

J-GLOBAL ID：200903022272439302

ガスセンサ

発明者： 町田 博宣
出願人/特許権者： フィガロ技研株式会社
代理人 (1件)： 塩入 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-116211
公開番号（公開出願番号）：特開平11-295252
出願日： 1998年04月09日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：

【要約】【構成】 基板4上にメタン検出片8とCO検出片6とを設け、メタン検出片8はヒータ膜10上にオーバーコートガラス12を介して積層し、メタン検出片8とCO検出片6の間に電極パッド14,15,16,17を配置して、リード19により放熱する。【効果】 メタン検出片とCO検出片との間に大きな温度差を設けることができ、1チップでメタンとCOの双方を検出できる。

請求項（抜粋）：

耐熱絶縁基板の1主面の一方の側にヒータ膜を設けて、このヒータ膜上に金属酸化物半導体膜からなる可燃性ガス検出片を積層し、かつ該主面の他方の側に金属酸化物半導体膜からなるCO検出片を設け、さらに前記主面の中央部で前記可燃性ガス検出片とCO検出片との間に、少なくとも4個の電極パッドを設けてリードに接続したことを特徴とするガスセンサ。