特許

J-GLOBAL ID：200903022274210353

ウエハ加工用接着シート

発明者： 鈴木 直志 ,  小林 辰志
出願人/特許権者： 株式会社巴川製紙所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-183872
公開番号（公開出願番号）：特開2005-019772
出願日： 2003年06月27日
公開日（公表日）： 2005年01月20日
要約：

【課題】本発明は、100°C未満の低い温度でシリコンウエハに貼り付け可能で、且つ紫外線照射後には放射線硬化型粘着剤層とダイ接着用接着剤層との界面で良好に剥離できる、放射線硬化型粘着剤層とダイ接着用接着剤層が一体となったウエハ加工用接着シートを提供することにある。【解決手段】ダイ接着用接着剤層と放射線硬化型粘着剤層を積層してなるウエハ加工用接着シートであって、前記ダイ接着用接着剤層が、アミン価が40mgKOH/g未満のポリアミド樹脂又はポリアミドイミド樹脂を含有するウエハ加工用接着シートであり、前記ポリアミド樹脂の軟化点が40°C以上200°C未満が好ましく、前記ポリアミドイミド樹脂のガラス転移温度が150°C未満であることが好ましい。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

少なくともダイ接着用接着剤層と放射線硬化型粘着剤層を積層してなるウエハ加工用接着シートであって、前記ダイ接着用接着剤層が、アミン価が40mgKOH/g未満のポリアミド樹脂、又はポリアミドイミド樹脂を含有することを特徴とするウエハ加工用接着シート。

IPC (3件)：

H01L21/52 ,  C09J7/02 ,  H01L21/301

FI (3件)：

H01L21/52 E ,  C09J7/02 Z ,  H01L21/78 M

Fターム (9件)：

4J004AA11 ,  4J004AA16 ,  4J004AB01 ,  4J004AB06 ,  4J004FA05 ,  5F047BA21 ,  5F047BA39 ,  5F047BB03 ,  5F047BB19