特許

J-GLOBAL ID：200903022274221290

記録ディスクの光学的検査方法

発明者： 芳山 龍一 ,  山内 隆
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-259508
公開番号（公開出願番号）：特開平10-227744
出願日： 1997年09月25日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】【課題】 記録ディスク表面の欠陥検査方法であって、検査時間を短縮すると共に分解能の高い光学的検査方法を提供する。【解決手段】 記録ディスクの表面に光線を照射して走査し、散乱光を検出して記録ディスクの欠陥を検査する方法であって、入射光を記録ディスク面に対して斜め方向から入射し、受光素子を入射光の光軸又は正反射光の光軸と10度以上40度以内ずれた位置に配置し、受光素子の受光信号の強度と、強度が所定レベル以上の信号の発生時間により欠陥を検出することを特徴とする記録ディスクの光学的検査方法。

請求項（抜粋）：

記録ディスクの表面に光線を照射して走査し、散乱光を検出して記録ディスクの欠陥を検査する方法であって、入射光を記録ディスク面に対して斜め方向から入射し、受光素子を入射光の光軸又は正反射光の光軸と10度以上40度以内ずれた位置に配置し、受光素子の受光信号の強度と、強度が所定レベル以上の信号の発生時間により欠陥を検出することを特徴とする記録ディスクの光学的検査方法。

IPC (3件)：

G01N 21/88 ,  G11B 5/00 ,  G11B 5/84

FI (3件)：

G01N 21/88 G ,  G11B 5/00 D ,  G11B 5/84 C