特許

J-GLOBAL ID：200903022279443542

回路配線パターンの検査方法

発明者： 鈴木 孝弘
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 内原 晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-264364
公開番号（公開出願番号）：特開平5-099971
出願日： 1991年10月14日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：

【要約】【構成】 すべての被検査パッドに対する検査が終了した後、不良と判定した被検査パッドに対して検査速度を遅くして静電容量の再測定を行い、オープン判定に対しては同一ネット内の被検査パッドにおける静電容量の測定値がほぼ等しくかつ理論値の2分の1以上であれば良品と判定し、ショート判定に対しては線長がほぼ等しいネット同志で静電容量の測定値がほぼ等しくかつ理論値の2倍以下であれば良品と判定する判定基準によって再判定を行う。【効果】 疑似不良の発生を減少させ、従って不良の解析工数を削減することができる。

請求項（抜粋）：

対向電極を内部電源/GNDネットまたは外部取付け対向電極として被検査回路パターンの静電容量を測定し、その測定値を検査データの線長から算出した静電容量の理論値を基準とする判定上限値および判定下限値と比較して良否の判定を行い、不良と判定したネットに関するデータをフォルトデータファイルに格納し、すべての被検査パッドに対する1回の検査の終了後に前記不良と判定したネットに対して再度静電容量の測定を行って再度前記理論値を基準とする判定上限値および判定下限値と比較して良否の判定を行うことを含むことを特徴とする回路配線パターンの検査方法。