特許

J-GLOBAL ID：200903022284115154

容量性センサの検知表面上の物理的物体の非侵襲性検知方法

発明者： マルコ タルターニ ,  ブサン グプタ
出願人/特許権者： エスティーマイクロエレクトロニクス,インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 小橋 一男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-359022
公開番号（公開出願番号）：特開平11-248665
出願日： 1998年12月17日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：

【要約】【課題】 粒子や小滴などの異物の存在を検知するために容量性センサを使用した非侵襲性の改良した方法を提供する。【解決手段】 センサの全てのセルを初期状態とさせ、その後に、検知表面上に異物が存在することによって発生される電界形状の変化から発生する等価フィードバック容量において変化が発生することを読取る。この様な変化が発生しない場合には、別のセルについてチェックが行われる。一つのセルに対して変化が検知された場合には、検知出力が発生される。

請求項（抜粋）：

センサ装置の検知表面上の物理的物体の存在を検知する方法において、密接した物理的形態で配列されている個別的な検知用セルからなるアレイを具備するセンサ装置を用意し、前記アレイを被覆し前記検知表面を与える誘電体層を設け、各検知用セルに接地していない入力端と接地していない出力端とを具備する増幅器を設け、前記増幅器の各々に対して前記検知用表面上の物理的物体の存在に感応する出力から入力へのフィードバックを与え、(1)前記検知用表面の下側に配置されており且つ前記接地されていない入力端へ接続されている第一コンデンサプレートと、(2)前記第一コンデンサプレートと近接した空間的関係で前記検知用表面の下側に配置されており且つ前記接地されていない出力端へ接続している第二コンデンサプレートと、(3)前記検知用表面上に存在する場合のある物理的物体とによって前記増幅器の各々に対して前記フィードバックを与える、上記各ステップを有することを特徴とする方法。

IPC (2件)：

G01N 27/22 ,  G01V 3/00

FI (2件)：

G01N 27/22 Z ,  G01V 3/00 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-231803
  
• 特開平4-231803
  
• 特開昭59-085949