特許
J-GLOBAL ID:200903022295222190

マスクローダを有する露光装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 長澤 俊一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-354661
公開番号(公開出願番号):特開平11-184095
出願日: 1997年12月24日
公開日(公表日): 1999年07月09日
要約:
【要約】【課題】 露光装置を大型化させることなく、重量のある大型のマスクをマスクステージの下面に容易に取り付けることができるようにすること。【解決手段】 マスクMをマスクステージMSの下面に保持させ、光照射部1から露光光を含む光を照射してワークステージWS上のワークを露光する露光装置において、ワークステージWSが通過できる大きさの開口を持つ進退可能なマスクローダMLを設ける。マスクMをマスクステージMSに取り付けるには、マスクローダMLを引き出し、マスクローダMLの開口部分にマスクMを載置する。ついで、マスクローダMLをマスクステージMSとワークステージWSの間に押し込みワークステージWSを上昇させる。ワークステージWSはマスクローダMLからマスクMを持ち上げ、マスクMはマスクステージMSの下面に当接し、マスク保持手段により保持される。ついで、ワークステージWSを下降させる。
請求項(抜粋):
フォトマスクをマスクステージの下面に保持し、マスクステージの上面側から露光光を含む光を照射して、マスクパターンをワークステージ上のワークに転写する露光装置において、マスクステージとワークステージとの中間位置に、ワークステージが通過できる大きさの開口を持つ進退可能なマスクローダを設けたことを特徴とする露光装置。
IPC (2件):
G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027
FI (4件):
G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 J ,  H01L 21/30 503 D ,  H01L 21/30 508 A
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭63-140546

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