特許

J-GLOBAL ID：200903022295222190

マスクローダを有する露光装置

発明者： 川橋 孝司
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
代理人 (1件)： 長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-354661
公開番号（公開出願番号）：特開平11-184095
出願日： 1997年12月24日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【課題】 露光装置を大型化させることなく、重量のある大型のマスクをマスクステージの下面に容易に取り付けることができるようにすること。【解決手段】 マスクMをマスクステージMSの下面に保持させ、光照射部1から露光光を含む光を照射してワークステージWS上のワークを露光する露光装置において、ワークステージWSが通過できる大きさの開口を持つ進退可能なマスクローダMLを設ける。マスクMをマスクステージMSに取り付けるには、マスクローダMLを引き出し、マスクローダMLの開口部分にマスクMを載置する。ついで、マスクローダMLをマスクステージMSとワークステージWSの間に押し込みワークステージWSを上昇させる。ワークステージWSはマスクローダMLからマスクMを持ち上げ、マスクMはマスクステージMSの下面に当接し、マスク保持手段により保持される。ついで、ワークステージWSを下降させる。

請求項（抜粋）：

フォトマスクをマスクステージの下面に保持し、マスクステージの上面側から露光光を含む光を照射して、マスクパターンをワークステージ上のワークに転写する露光装置において、マスクステージとワークステージとの中間位置に、ワークステージが通過できる大きさの開口を持つ進退可能なマスクローダを設けたことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 J ,  H01L 21/30 503 D ,  H01L 21/30 508 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-140546
  
• 特開昭63-140546