特許
J-GLOBAL ID：200903022304331274
Oリング及びこれを具備する装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-154067
公開番号（公開出願番号）：特開平11-002328
出願日： 1997年06月11日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：
【要約】【課題】耐反応性に富みシールドの良いOリング及びこれを具備するOリングを備えた装置を提供する。【解決手段】平面形状は環状である弾性体で断面形状は円形であるOリングを備えた装置において、断面形状が円形で合成ゴムからなるOリング表面の少なくとも反応性の高い雰囲気となる表面側に環状の耐腐食性材料の部位を配置し、その他の部位を合成ゴム製の部位空構成する。【効果】耐薬品・耐プラズマ性を有しかつ高いのシールド効果を有するOリングを提供できるとともに、このようなOリングを備えた装置ではOリングの劣化によるパーティクルの発生を抑え真空の保持等にも優れた特性を得られる。
請求項（抜粋）：
平面形状は環状で断面形状は円形でかつ弾性を有するOリングを備えた装置であって、前記Oリングは表面に配置される耐腐食性材料の部位と、その他の部位に配置される合成ゴムの部位とからなることを特徴とするOリングを備えた装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
F16J 15/10 G
, F16J 15/10 C
, H01L 21/205
