特許

J-GLOBAL ID：200903022310707715

処理液供給装置

発明者： 真田 雅和
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-065502
公開番号（公開出願番号）：特開平9-153453
出願日： 1996年02月26日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：

【要約】【課題】 測定した遅れ時間に基づいて処理液の供給/停止タイミングを補正することにより、所望する処理プログラムによる処理を正確に実施することができる。【解決手段】 供給開始命令を、予め計測された開始遅れ時間TDSだけ早めて実供給開始命令としてTS の時点で実行し、供給停止命令を、予め計測された停止遅れ時間TDEだけ早めて実供給停止命令としてTE の時点で実行する。これにより、処理液供給ノズルから供給されたフォトレジスト液は、処理プログラムの供給開始命令が実行されるはずであった時点tS において吐出され、供給停止命令が実行されるはずであった時点tE において吐出を停止される。

請求項（抜粋）：

予め記憶された一連の処理を規定する処理プログラムに基づいて、制御手段が供給開始命令を実行することにより処理液供給手段を介して基板に処理液の供給を開始し、供給停止命令を実行することにより前記処理液の供給を停止する処理液供給装置であって、前記処理液供給手段から吐出される処理液が前記処理液供給手段から吐出された状態または非吐出状態であることを検出する吐出検出手段と、前記制御手段により供給開始命令が実行されてから前記吐出検出手段により処理液が吐出状態であることを検出されるまでの時間(開始遅れ時間)と、前記制御手段により供給停止命令が実行されてから前記吐出検出手段により処理液が非吐出状態であることを検出されるまでの時間(停止遅れ時間)とを測定する遅れ時間計測手段と、前記遅れ時間計測手段により計測された開始遅れ時間および停止遅れ時間を記憶する遅れ時間記憶手段と、により構成される、前記開始遅れ時間および前記停止遅れ時間を予め計測して記憶する測定制御手段を備えるとともに、前記制御手段は、前記処理プログラムに基づき基板に対して処理液を供給する際には、前記遅れ時間記憶手段に記憶されている両遅れ時間に基づいて、供給開始命令の実行を前記開始遅れ時間だけ早く行なうとともに、供給停止命令の実行を前記供給停止遅れ時間だけ早く行なうことを特徴とする処理液供給装置。

IPC (10件)：

H01L 21/027 ,  B01J 4/02 ,  B05C 11/08 ,  B05D 1/40 ,  G03F 7/16 ,  G03F 7/30 501 ,  G05B 19/05 ,  G05B 23/02 ,  G05B 23/02 301 ,  H01L 21/02

FI (12件)：

H01L 21/30 564 C ,  B01J 4/02 B ,  B05C 11/08 ,  B05D 1/40 ,  G03F 7/16 ,  G03F 7/30 501 ,  G05B 23/02 X ,  G05B 23/02 T ,  G05B 23/02 301 T ,  H01L 21/02 Z ,  G05B 19/05 J ,  H01L 21/30 569 C