特許
J-GLOBAL ID：200903022312356952
粉砕・分散用メディアおよび高純度ITO原料の調製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
丸岡 政彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-184542
公開番号（公開出願番号）：特開平6-002108
出願日： 1992年06月18日
公開日（公表日）： 1994年01月11日
要約：
【要約】【目的】 粉砕・混合・分散工程におけるITO原料への不純物の混入を防止し得る粉砕・分散用メディアおよび高純度ITO原料の調製方法の提供。【構成】 まず、純度4NのIn2 O3 粉末とSnO2 粉末とを90:10wt比で配合した粉体 100gを容積3lのナイロンポットに入れる。次いで、該ポットに相対密度が92%のITO焼結体からなるφ10mmボール状の粉砕・分散用メディアを体積で1lになるように入れ、純水 200gを加えた後、ボールミル架台上において 70rpmで10hr回転させて混合し、スラリーを得る。次に、得られたスラリーを乾燥し、ITO原料を得る。次いで、上記ITO原料を所定の形状に成形した後焼成し、この焼結体を用いてスパッタ法によって成膜を行い、高純度で低抵抗なITO膜を得る。
請求項（抜粋）：
相対密度が85%以上であるITO焼結体からなることを特徴とする粉砕・分散用メディア。
IPC (2件)：
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