特許
J-GLOBAL ID：200903022316177793
記録媒体製造方法及び記録媒体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-141923
公開番号（公開出願番号）：特開平5-314551
出願日： 1992年05月08日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：
【要約】【目的】 信頼性の高い記録媒体、及びこの製造方法を提供する。【構成】 トンネル電流を検知して情報の記録再生を行う情報処理装置に用いられる記録媒体の製造方法において、基板1上に形成された基板電極2にトラック4を形成する際に、基板電極2上にマスク3を形成した後、集束イオンビーム法によりトラック4を形成することにより、基板電極2表面に生じるダメージを防止して、表面の平滑性を高めることができ、情報の記録再生時においてS/N比が高く、ビットエラーレートの非常に小さい信頼性の高い記録媒体となる。
請求項（抜粋）：
トンネル電流を検知して情報の記録再生を行う情報処理装置に用いられ基板電極上に記録層を有する記録媒体の製造方法において、該基板電極上にマスクを形成した後、集束イオンビーム法でトラックを形成することを特徴とする記録媒体製造方法。
IPC (3件)：
G11B 9/00
, H01L 27/10 421
, H01L 27/10 451
