特許
J-GLOBAL ID：200903022317634330
偏光解析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿仁屋 節雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-070842
公開番号（公開出願番号）：特開平5-273120
出願日： 1992年03月27日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：
【要約】【目的】 試料について測定可能な物理的性質の種類を従来より多くでき、多種多様な計測用途に適合できる偏光解析装置を実現する。【構成】 測定用試料2を試料固定台1に固定して測定を行なう。ここで、試料2が試料表面2aの法線回りの方位によって物理的性質を変化させるようなものであれば、試料台回転装置4によって試料2を回転させて各回転位置で測定を行ない、所望の測定結果を得る。なお、測定を開始する前に、予め煽り調節装置12によって、回転装置4が回転してもその前後での試料表面2aに対する入射角が同一になるように調節しておく。
請求項（抜粋）：
偏光光を試料表面に入射し、その反射光の偏光状態に基づいて前記試料の物理的性質を測定する偏光解析装置において、前記試料を固定する試料固定台、又は、上記試料表面に偏光光を入射してそれからの反射光を光学処理する光学系の少なくとも一方が、前記試料表面の法線を軸とする回転機構を備えたことを特徴とする偏光解析装置。
IPC (3件)：
G01N 21/21
, G01B 11/30
, G01N 21/01
