特許
J-GLOBAL ID：200903022317788095
オクタン溶剤中の金属ポリオキシアルキル化前駆体溶液およびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-507586
公開番号（公開出願番号）：特表平10-505338
出願日： 1995年08月15日
公開日（公表日）： 1998年05月26日
要約：
【要約】金属酸化物電子部品(10)を製造するための方法による使用のための液体前駆体溶液は、アルカン溶剤中に分散したポリオキシアルキル化金属錯体を含む。アルカン溶剤は好ましくはn-オクタンである。
請求項（抜粋）：
金属酸化物(20)を製造するために使用される前駆体溶液であって、前記溶液は液体ポリオキシアルキル化金属部分を含み、且つ、前記ポリオキシアルキル化金属部分は7〜10個の炭素数の分子からなるアルカン溶剤中に分散されていることを特徴とする、溶液。
IPC (7件)：
C07F 9/94
, C23C 18/12
, C30B 29/68
, H01L 21/822
, H01L 27/04
, C01G 35/00
, C30B 29/30
C07F 9/94
, C23C 18/12
, C30B 29/68
, C01G 35/00 B
, C30B 29/30 B
, H01L 27/04 C
