固体撮像装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：曾我道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-034703
公開番号（公開出願番号）：特開平7-245383
出願日： 1994年03月04日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：

【要約】【目的】撮像素子のストレス・歪の低減及び光信号クロストークの低減、光検出感度の向上を可能とする光学的共鳴構造を与えることを目的としている。【構成】光検出部3の表面上に入射赤外線の波長より薄い絶縁膜で第1の層間膜4を形成し、第1の層間膜4の表面上に光学的共鳴条件を満足する厚さを持ち、屈折率が高く、赤外線吸収率の低い第2の層間膜5Aを形成し、第2の層間膜5Aの表面上に赤外線反射率の高いアルミニウム反射膜6を形成するようにしたものである。【効果】第1の層間膜4は、光検出部3で生成された光キャリアを反射し、半導体への光キャリア注入効率を高めて、高い光感度を維持する。第2の層間膜5Aは、屈折率が大きく、赤外線吸収率が小さいため、層間膜厚の低減と赤外線吸収量の低減が可能となり、素子のストレス・歪の低減及び光信号のクロストークの低減及び光検出感度の向上が可能となる。

請求項（抜粋）：

半導体基板上に設けられ入射光を光電変換する光検出部、この光検出部上に設けられ前記入射光により発生したキャリアを反射する障壁膜、この障壁膜上に設けられた層間膜、及び前記層間膜上に設けられ前記光検出部を透過した入射光を反射する反射膜を備えたことを特徴とする固体撮像装置。

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平2-260468
特開平3-156969
特開平2-268465

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審査官引用 (2件)

特開平2-260468
特開平2-260468

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